AC 2000 P4
Prime-Wafer-Doppelseiten-Poliermaschine
Die AC 2000 P4 setzt mit ihren marktführenden Innovationen Standards im Polieren von Silizium-Prime-Wafern. Durch ihren technologischen Vorsprung vereint sie höchsten Durchsatz und optimale Oberflächenqualitäten.
- Adaptive Polierspaltregelung für aktiv gesteuerte Arbeitsumgebung ermöglicht höchste Qualitätsergebnisse.
- Industrieführender Standard im Bereich Präzision, Qualität, Effizienz und Cost of Ownership
Bis zu 300 mm / 12'' Wafer, 15 Wafer / Batch
Marke: Peter Wolters

Eigenschaften AC 2000 P4 Poliermaschine
- Unique and patented UPAC (Upper Platen Adaptive Control) System
- Unique LPAC (Lower Platen Adaptive Control) System (patent pending)
- Monitoring of the cooling lubricant flow rate
- Loop control
- First-Class customer support for the highest machine availability and productivity
- Integrated high precision interferometric device for in-situ measurement of the wafer thickness
- High-Pressure Conditioner
- Slurry Recycling Station
- Slurry Pressure Distribution
- Integrated Process Data Recording (DataCare®)
- Industry 4.0
- Touch Screen
Wir denken weiter. Denn Full-Service fängt mit dem Produkt erst an.
Wir geben Sicherheit. Denn als Full Service-Anbieter bieten wir alles, was Sie brauchen, damit Ihre Abläufe laufen wie geschmiert.
ConsumablesMaßgeschneiderte Full Service-Angebote für maximale Produktionssicherheit
Service