AC 1500 P3 Advanced

Prime-Wafer-Doppelseiten-Poliermaschine

Die AC 1500 P3 Advanced ermöglicht mit ihrem patentierten UPAC-System das durchsatzoptimierte Polieren von bis zu 18 200mm Silizium-Wafern. Zusätzlich installierte Sensorik sorgt hierbei für maximale Prozesskontrolle.

Patentiertes UPAC-System für adaptive Steuerung des Polierspaltes.
Smarte Sensorik ermöglichen höchste Prozesskontrolle und -steuerung

Wafer bis 300 mm, 6 Wafer / Batch

Marke: Peter Wolters

AC 1500 Doppelseiten-Poliermaschine von Lapmaster Wolters

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Eigenschaften AC 1500 P3 Advanced Poliermaschine

Unique and patented UPAC (Upper Platen Adaptive Control) System
Monitoring of the cooling lubricant flow rate
Loop control

First-Class customer support for the highest machine availability and productivity
High-Pressure Conditioner
Slurry Recycling Station
Slurry Pressure Distribution

Integrated Process Data Recording (DataCare®)
Industry 4.0
Touch Screen

Wir denken weiter. Denn Full-Service fängt mit dem Produkt erst an.

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