AC 1500 DSPL / DMP / CMP
Doppelseiten Poliermaschine
Die Peter Wolters AC 1500 ist durch ihr patentiertes UPAC-System ideal abgestimmt auf die durchsatzoptimierte Bearbeitung von 6" und 8" SiC-Wafern. In Kombination mit dem Abwälzsystem werden höchste Waferqualitäten erzielt.
- Patentiertes UPAC-System für adaptive Steuerung des Polierspaltes
- Spezielle mechanische Komponenten sowie smarte Sensorik ermöglichen eine optimierte Bearbeitung sehr dünner Werkstücke
Bearbeitung von SiC Wafern 4", 6", 8" und 12"
Marke: Peter Wolters
Eigenschaften AC 1500 DSPL / DMP / CMP Poliermaschine
- Einzigartiges und patentiertes UPAC-System (Upper Platen Adaptive Control)
- Überwachung des Kühlschmierstoffdurchsatzes
- Steuerung des Kreislaufs
- Erstklassiger Kundensupport für höchste Maschinenverfügbarkeit und Produktivität
- Slurry-Recycling-Station
- Integrierte Prozessdatenaufzeichnung (DataCare®)
- Industrie 4.0
- Touchscreen
Wir denken weiter. Denn Full-Service fängt mit dem Produkt erst an.
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