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AC 1500 DSPL / DMP / CMP

Doppelseiten Poliermaschine

Die Peter Wolters AC 1500 ist durch ihr patentiertes UPAC-System ideal abgestimmt auf die durchsatzoptimierte Bearbeitung von 6" und 8" SiC-Wafern. In Kombination mit dem Abwälzsystem werden höchste Waferqualitäten erzielt.​

  • Patentiertes UPAC-System für adaptive Steuerung des Polierspaltes​
  • Spezielle mechanische Komponenten sowie smarte Sensorik ermöglichen eine optimierte Bearbeitung sehr dünner Werkstücke​

Bearbeitung von SiC Wafern 4", 6", 8" und 12"

 

 

Marke: Peter Wolters

AC 1500 Doppelseiten-Poliermaschine von Lapmaster Wolters

Eigenschaften AC 1500 DSPL / DMP / CMP Poliermaschine

  • Einzigartiges und patentiertes UPAC-System (Upper Platen Adaptive Control) 
  • Überwachung des Kühlschmierstoffdurchsatzes 
  • Steuerung des Kreislaufs
  • Erstklassiger Kundensupport für höchste Maschinenverfügbarkeit und Produktivität 
  • Hochdruck-Konditionierer 
  • Slurry-Recycling-Station 
  • Slurry-Druckverteilung
  • Integrierte Prozessdatenaufzeichnung (DataCare®) 
  • Industrie 4.0 
  • Touchscreen

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