6 EZ
Flachpoliermaschine
Es ist kein Geheimnis, dass SiC ein schwer zu verarbeitendes Material ist. Wir kennen die Herausforderungen bei der Arbeit mit SiC und haben unser Wissen über das Schleifen von SiC, das erstklassige Polieren von Wafern und die CMP-Technologie um eine einzigartige Lösung zu entwickeln, die das Polieren von SiC wirklich einfach macht. Wir freuen uns, Ihnen die 6EZ vorstellen zu können, die weltweit erste vollautomatische Dry-in / Dry-outPoliermaschine für einen Wafer speziell für SiC entwickelt.
- Vollautomatische Handhabung von Kassette zu Kassette
- Drei Tische mit speziellen Trägern, Pad-Konditionierern und Pad-Reinigern
VERARBEITUNG VON SiC-WAFERN 4“, 6“ UND 8“
Es ist kein Geheimnis, dass SiC ein schwer zu verarbeitendes Material ist. Wir kennen die Herausforderungen bei der Arbeit mit SiC und haben unser Wissen über das Schleifen von SiC, das erstklassige Polieren von Wafern und die CMP-Technologie um eine einzigartige Lösung zu entwickeln, die das Polieren von SiC wirklich einfach macht. Wir freuen uns, Ihnen die 6EZ vorstellen zu können, die weltweit erste vollautomatische Dry-in / Dry-outPoliermaschine für einen Wafer speziell für SiC entwickelt.
Eigenschaften 6 EZ Poliermaschine
- Vollautomatische Handhabung von Kassette zu Kassette
- Bearbeitung einzelner Wafer für hervorragende Wafer-zu-Wafer-Kontrolle
- Einseitige und zweiseitige Politur
- Drei Tische mit speziellen Trägern, Pad-Konditionierern und Pad-Reinigern
- säurebeständige Komponenten
- OCR (optional)
- Modernste Steuerungsarchitektur und Windows-basiertes Betriebssystem
- Zwei standardmäßige Schlammzuführungen, eine dritte Schlammzuführung ist optional erhältlich
- Werks-Host-Kommunikation (optional)
- SEMI S2, S8, und CE zertifiziert
- 50-Wafer-Verarbeitung ohne Bedienereingriff
- Integrierte Reinigung nach dem Polieren
Wir denken weiter. Denn Full-Service fängt mit dem Produkt erst an.
Wir geben Sicherheit. Denn als Full Service-Anbieter bieten wir alles, was Sie brauchen, damit Ihre Abläufe laufen wie geschmiert.
ConsumablesMaßgeschneiderte Full Service-Angebote für maximale Produktionssicherheit
Service